-
Trying [반도체 소자②] DRAM 기초취업 준비/Trying 반도체 공정 2021. 8. 26. 21:06
1. DRAM이 무엇인가?
- DRAM : Dynamic Random Access Memory

https://m.blog.naver.com/PostView.naver?isHttpsRedirect=true&blogId=tnalsdl326&logNo=221217276452 
-> Register : CPU 내부
-> SRAM(cache) : CPU 내부
-> DRAM : 프로그램에 필요한 데이터만 사용해서 빠른 처리
-> SSD : NAND Flash Memory. 대용량 메모리
- 아래에서 위 순서로 빠르고 비싸고 용량이 작다
- DRAM의 특징
(1) 휘발성 메모리 : 전원 종료 시 데이터가 사라진다. [SSD/HDD와의 차이]
(2) 빠른 속도 : ~1ns(10^(-9)초)읽기, 10ns쓰기
(3) 높은 가격 : 16GB(10만원) (SSD는 512GB(10만원))

DRAM 시장 점유율 - 구성 : 1 Transistor + 1 Capacitor (1T1C)

- Writing


- Reading


- Destructive Readout : DRAM의 데이터를 읽을 떄 데이터가 지워지는 현상
=> 그래서 Dynamic한 memory이다.
2. Cell Capacitor

- CMOS공정에서 소자의 면적 차이가 있다.
(1) MOSFET 크기는 약 50nm X 50nm
(2) 평행판 축전기 크기 계산
- DRAM Cell Capacitor 용량 = 10fF
- 절연체 두께가 2nm로 정의
=> 760nm X 760nm가 된다.
=> 용량은 유지하되 Cell Capacitor의 면적을 줄여야 한다.

(1) Parallel Capacitor : 면적을 줄이기 전의 Capacitor
(2) Stacked Capacitor : 면적을 줄이고 높이를 증가시킨 Capacitor
(3) Trench Capacitor : 참호로 깊이를 증가시켜 면적을 줄인 Capacitor
(4) Cylindrical Capacitor : 밑변과 높이의 비율이 1:50으로 면적을 줄인 최근의 Capacitor
3. Cell Transistor
- DRAM Cell Transistor는 대부분 시간동안 전류가 흐르지 않는다.
-> Off-current와 Static power를 줄이는 것이 중요
-> Channel 길이를 늘려야 한다. (전류와 채널 길이가 반비례하기 때문)

-> 위와 같이 Channel을 늘리게 되면 면적도 증가하면서 비용도 증가하므로 바람직하지 않다.
- Cell Transistor의 진화

(1) Planar : Cell Transistor의 진화 이전
(2) Recessed Cell Array Transistor : 전류는 밑에 파진 부분을 통해 흐르도록 Channel을 늘린 것.
(3) Spherical : 파진 부분을 두껍게 함으로써 Channel 길이를 늘린 것.
(4) Buried Gate : Gate를 모두 Body 안에 넣어서 Channel을 늘린 것.
https://www.youtube.com/watch?v=rWZzKy7XzZM
728x90'취업 준비 > Trying 반도체 공정' 카테고리의 다른 글
Trying [반도체 공학④] Cleaning 공정 (0) 2021.09.01 Trying [반도체 공학③] Process Overview (0) 2021.08.31 Trying [반도체 공학②] Measurement (0) 2021.08.30 Trying [반도체 공학①] Wafer (0) 2021.08.30 Trying [반도체 소자①] MOSFET 기초 (0) 2021.08.25